ለሴራሚክ የጠረጴዛ ዕቃዎች የ PVD ሽፋን ማሽን
መተግበሪያ
| ሞዴል ቁጥር | ARC-1000 | ARC-1200 | ARC-1400 | ARC-1800 | ARC-2000 |
| የቫኩም ክፍል ስፋት (ዲያሜትር * ቁመት) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 |
| የቫኩም ክፍል ቁሳቁስ | SUS304 ወይም SUS316L በቀዝቃዛ ጃኬት | ||||
| የአርክ ምንጮች ብዛት | 8-12 ስብስቦች | 10-14 ስብስቦች | 12-16 ስብስቦች | 14-24 ስብስቦች | 18-36 ስብስቦች |
| የፓምፕ ስርዓት | ሞለኪውል ፓምፕ ወይም ስርጭት ፓምፕ + ሜካኒካል ፓምፕ | ሞለኪውላዊ ፓምፕ ወይም ስርጭት ፓምፕ + መካኒካል ፓምፖች, ማበልጸጊያ ፓምፕ | |||
| የፓምፕ ጊዜ | ከከባቢ አየር ወደ 5.0 * 10-2 ፓ ከ 8 ደቂቃዎች ያነሰ | ||||
| አድልዎ የኃይል አቅርቦት | 20 ኪ.ወ | 30 ኪ.ወ | 40 ኪ.ወ | 60 ኪ.ወ | 60 ኪ.ወ |
| የጅምላ ፍሰት መቆጣጠሪያዎች ያለው የጋዝ ማከፋፈያ ስርዓት | ≥2 ስብስቦች | ||||
| የቫኩም ገደብ | 5.0 * 10-4 ፓ | ||||
| የሥራ ሙቀት | 100-250 ሴንቲግሬድ | ||||
| የስራ ሁነታ | ራስ-ሰር ወይም በእጅ ሁነታ፣ በ10.4 ኢንች PLC የሚነካ ማያ | ||||
| ጠቅላላ ኃይል | 70-180 ኪ.ወ | 70-180 ኪ.ወ | 70-180 ኪ.ወ | 120-300 ኪ.ወ | 120-300 ኪ.ወ |
| የእግር አሻራ | 3 * 3 ሜትር | 3 * 3 ሜትር | 3 * 4 ሜትር | 4 * 5 ሜትር | 4 * 5 ሜትር |
• አጠቃላይ መዋቅር፡- አቀባዊ የፊት በር፣ አግድም የፊት በር፣ የኋላ የቫኩም ማግኛ ስርዓት
• ቁሶች፡- ክፍተቱ ከፍተኛ ጥራት ካለው SUS304 አይዝጌ ብረት የተሰራ ነው።
• Ion arc ምንጭ፡- እንደ መሳሪያው መጠን ከበርካታ የአርክ ሃይል አቅርቦት ስርዓቶች ጋር የታጠቁ
• አድሏዊ የሀይል አቅርቦት፡- ባለ ከፍተኛ ሃይል ባለ አንድ-ደረጃ pulse bias power አቅርቦት የታጠቁ
• ባለብዙ-አርክ ኢላማዎች፡- በርካታ የታይታኒየም ወይም አይዝጌ ብረት ኢላማዎች እንደ መደበኛ
• የሚሽከረከር ሲስተም፡- ተለዋዋጭ ድግግሞሽ የፍጥነት መቆጣጠሪያ፣ የአብዮት እና የማሽከርከር ጥምር፣ የላይኛው ማስተላለፊያ ወይም ዝቅተኛ ስርጭት።
• የቫኩም ሲስተም (የጌጦሽ ሽፋን እቃዎች)፡ የማሰራጫ ፓምፕ (አማራጭ ሞለኪውላዊ ፓምፕ) + የስርወ-ወፍራም ፓምፕ + ሜካኒካል ፓምፖች
• የጋዝ መቆጣጠሪያ፡ ባለ ብዙ መንገድ ጋዝ የጅምላ ፍሰት መቆጣጠሪያ ሥርዓት
• የማሞቂያ ስርዓት፡ ጌጣጌጥ ሽፋን 150 ℃ የሙቀት መቆጣጠሪያ PID የሚስተካከለው እና የሚቆጣጠር
• ኢንተለጀንት ቁጥጥር፡ PLC የማሰብ ቁጥጥር + HMI ባለ ሙሉ ቀለም የንክኪ በይነገጽ፣ ሙሉ በሙሉ በራስ-ሰር የሎጂክ ቁጥጥርን ለማግኘት
• ማንቂያ እና ጥበቃ፡ ባልተለመዱ ሁኔታዎች ውስጥ ማንቂያ ደወል እና ተጓዳኝ የጥበቃ እርምጃዎችን ይተግብሩ።
የተለመዱ መተግበሪያዎች
1. የመስታወት ባንግሎች
2. የሴራሚክ ንጣፎች እና ሞዛይኮች
3. የመስታወት ሞዛይኮች
4. ጌጣጌጥ
5. የብርጭቆ ብርሃን ክፍሎች
6. የብረት ክፍሎች
7. የሴራሚክ እቃዎች
8. የጥርስ እቃዎች
9. አይዝጌ ብረት አንሶላዎች ወደ ቲታኒየም ወርቃማ ወረቀቶች,
10. የተኩስ ክፍሎች, ወዘተ
